超純水設備工藝概述：
1. 預處理系統
設計水源依據為一般市政自來水，自來水多為地表水源，一年當中原水水質變化較大，膠體、懸浮物及微生物含量較高。為保證本系統中反滲透部分的正常運轉，則必須去除水中的懸浮物、膠體、有機物等，以達到反滲透的進水要求。
1) 多介質過濾器：
本系統是對原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質進行去除，同時對原水中的濁度、色度起到降低作用，它可濾掉原水帶來的顆粒、藻類等可見物。
多介質過濾器反洗：反洗以壓力參數設備來控制反沖洗周期，當進出水母管上的壓力差達到0.5kg/cm2時即停止運行進行反沖洗，通過電氣系統控制進行濾器順序定時反洗、氣擦洗、正洗工藝過程。
反洗水由單獨設置的反洗水泵供水控制和調節反洗水流量，反洗水強度應使濾層膨脹15-25%。反洗時送入壓縮空氣，擦洗濾料，其強度為18-20升/秒•米2，反洗水可以用反滲透的濃水。
2) 活性炭過濾器：
活性炭工藝在水處理領域中占有相當重要的地位，是水深度處理中不可缺少的工藝，它所具有的某些特殊功效是其它水處理工藝所無法替代的。
— 去色
可去除由鐵、錳及植物分解生成物或有機污染物等所形成的色度。
— 脫氯
可去除因余氯所造成的嗅味。
— 去除有機物
可去除由于水源污染而常規工藝又無法去除的水中微量污染物，如農藥，殺蟲劑，氯化烴，芳香族化合物，以及BOD與COD等。
— 去除有機氯
可去除在原水凈化過程中及自來水出廠前投加預氧化劑和消毒劑（如氯氣）所產的THMS等“三致”物質。有分析表明，自來水中“三致物質THMS占去大半，有效的去除對于提高水質量十分關鍵。
— 去除氨氮和亞硝酸鹽
活性炭可有效去除氨氮和亞硝酸鹽。
— 去除剩余氯或氧化劑，保護超濾、反滲透的濾膜
另外，它還可以除臭，去除水中的微量重金屬離子（如汞、鉻等離子），合成洗滌劑及放射性物質等。
3) 軟化系統
為滿足RO進水要求，在原水進入進化軟化，阻止結垢。
4) 保安過濾器：
經過前面的石英過濾器、活性炭過濾器之后，原水中大顆粒懸浮物已基本被除去，而一些小顆粒懸浮物則沒有被除去。在這里，再進行一次微濾，去除5μm以上的懸浮物，以保護RO膜不被堵塞。同時，一些活性炭細沫也被截留在反滲透系統之外。保安裝過濾器進出口設壓力指示表，當壓差增大到設定值時更換濾芯。
2. 純水處理
1) 高壓泵
高壓泵的反滲透設備的主要動力設備，高壓泵應設置高過熱保護，泵前后分別設置低、高壓保護開關。當高壓泵進水壓力低于設定值后，高壓泵停運，以保護高壓泵，當高壓泵出口壓力高于設定值后，高壓泵停運，以保護反滲透膜。
2) 反滲透裝置
反滲透裝置是該項目預脫鹽的心臟部分，經反滲透處理的水，能去除絕大部分無機鹽、有機物、微生物等。
3、超純水系統
超純水處理深一層除去水中的鹽類 ，使水的純度提高。處理采用增壓泵、混床、膜過濾器。混合離子交換床技術成熟，具有產水品質穩定，運行費用低，操作管理方便等特點。
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